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氣相沉積爐
氣相沉積爐
主要特點 :
氣相沉積爐的用途: 本化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積,如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產(chǎn)。
使用行業(yè) :
  • 產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品規(guī)格
  • 使用步驟
  • 氣相沉積爐原圖2

    氣相沉積爐的用途:
      本化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積,如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產(chǎn)。
     氣相沉積爐的特點:
      采用多功能高溫設(shè)計,可實現(xiàn)化學(xué)氣相沉積和石墨化處理一次性完成。
      使用溫度高達2600,并可長時間穩(wěn)定可靠運行。
      采用熱電偶和紅外測溫儀組合的測溫自動轉(zhuǎn)換系統(tǒng),可實現(xiàn)全溫度段的顯示和控制。
      采用IGBT為主功率器件的感應(yīng)加熱變頻控制系統(tǒng),使得設(shè)備節(jié)能省電,諧波分量小,對外部設(shè)備無干擾。
      進出氣體的精確流量顯示和控制,保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性。
      采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強; 
      采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
      特制的過濾系統(tǒng),對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理;
     氣相沉積爐的技術(shù)參數(shù):


    參數(shù)

    型號

    HYSJL-3040

    HYSJL-4050

    HYSJL-5060

    HYSJL-6080

    HYSJL-8080

    工作區(qū)尺寸DXHmm)

    Ф300X

    400

    Ф400X

    500

    Ф500X

    600

    Ф600X

    800

    Ф800X

    800

    工作溫度(

    1500

    2600

    1500

    2600

    1500

    2600

    1500

    2600

    1500

    2600

    溫度均勻性(

    ±7.5

    ±7.5

    ±7.5

    ±7.5

    ±7.5

    工作電壓(V)

    三相380

    額定功率(KW)

    40

    80

    60

    150

    80

    160

    90

    200

    160

    350

    工作氣氛

    真空/氬氣/氮氣/氫氣/炳烷/石油天然氣

    以上化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)參數(shù)可根據(jù)工藝參數(shù)進行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準??蓪⒒瘜W(xué)氣相沉積和高溫石墨化兩種功能分開,單獨做成化學(xué)氣相沉積爐和高溫石墨化爐。

     



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